УДК 621.315.592, 621.317.08, 543.456
ИЗМЕРИТЕЛЬНО-АНАЛИТИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС
ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ
И ВОЛЬТ-ФАРАДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Д. С. Кусакин, инженер кафедры МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. Г. Литвинов, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Ермачихин, к.ф.-м.н., с.н.с. кафедры МНЭЛ РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассматривается решение задачи локального измерения электрофизических характеристик по-
лупроводниковых материалов в областях с линейными размерами менее 100 нм. Целью данной рабо-
ты является разработка измерительно-аналитического комплекса на базе атомно-силового микро-
скопа для локального исследования вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик полупровод-
никовых микро- и наноструктур. В состав измерительного комплекса входят атомно-силовой мик-
роскоп NTegra Aura, программируемый генератор импульсов напряжения, преобразователь ток-
напряжение, платы управления и сбора данных. Разработано программное обеспечение для управле-
ния оборудованием, входящим в состав измерительно-аналитического комплекса, а также для выво-
да и обработки полученных результатов. Представлены результаты апробации измерительно-
аналитического комплекса на тестовых образцах.
Ключевые слова: измерительно-аналитический комплекс, вольт-амперные характеристики, вольт-фарадные характеристики, атомно-силовой микроскоп, полупроводниковая структура.