УДК 537.311.322
РАЗВИТИЕ МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ И ПРИБОРНЫХ СТРУКТУР МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Н. В. Вишняков, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, к.т.н., доцент, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Ю. В. Воробьев, инженер УОНИ РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. В. Гудзев, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, к.ф.-м.н., Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Ермачихин, старший научный сотрудник, к.ф.-м.н., Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Д. С. Кусакин, инженер кафедры МНЭЛ РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. Г. Литвинов, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, к.ф.-м.н., Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. Д. Маслов, очный аспирант кафедры МНЭЛ РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. Г. Мишустин, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, к.ф.-м.н., Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. М. Толкач, очный аспирант кафедры МНЭЛ РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Т. А. Холомина, заведующая кафедрой МНЭЛ РГРТУ, д.ф.-м.н., профессор; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассмотрены современные методы диагностики полупроводниковых микро- и наноструктур, разработанные в рамках научной школы кафедры микро- и наноэлектроники. Целью работы является развитие существующих и разработка новых методов диагностики микро- и наноструктур электроники, в частности, методов зондовой микроскопии и спектроскопии, шумовой спектроскопии электронных состояний, метода компенсации токов нестационарной фотопроводимости. Объектами исследования являются структуры на неупорядоченных полупроводниках с малой подвижностью носителей заряда, полупроводниковые структуры с квантовыми ямами и квантовыми точка-
ми, другие наноразмерные объекты, а также микро- и наноструктурированные материалы, предназначенные для использования в полупроводниковых солнечных модулях, оптических датчиках и излучателях, элементах энергонезависимых запоминающих устройств с изменением фазового состояния, мемристорных устройств и т.д.
Ключевые слова: микро- и наноструктуры, методы экспериментальных исследований.