УДК 621.793.182
ОЦЕНКА КОЭФФИЦИЕНТА РАСПЫЛЕНИЯ ПРИ РАЗРАБОТКЕ ТЕХНОЛОГИИ СОЗДАНИЯ ПРИБОРОВ ПЛАЗМЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
А. С. Арефьев, д.т.н., профессор кафедры ПЭл РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Г. П. Гололобов, к.т.н., доцент кафедры ПЭл РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Д. В. Суворов, к.т.н., доцент кафедры ЭП РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
М. А. Серпова, аспирант РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Е. В. Сливкин, ведущий инженер УОНИ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Приводятся различные режимы катодного распыления, основанные на каскадной столкновительной теории Зигмунда. Показана актуальность изучения процесса катодного распыления применительно к различным областям науки и техники, в частности, технологии создания приборов вакуумной и плазменной электроники. Целью работы является разработка методики оценки коэффициента распыления материала в процессе катодного распылении при создании приборов плазменной электроники. Приводится оценка коэффициента распыления на основе режима тепловых пиков как наиболее вероятного. Особенностью представленной методики расчета локального коэффициента распыления является то, что оценка строится на основе эрозионной модели столкновительной теории при катодном распылении с учетом процессов плавления и испарения материала катода. Определена функция, описывающая распределение распыленных катодных частиц по составляющей импульса, нормальной к распыляемой поверхности.
Ключевые слова: катодное распыление, поверхность твердого тела, ионный пучок, эрозионные процессы, коэффициент распыления, режим тепловых пиков, высокотемпературное поле, распылен- ные атомы, газоразрядные приборы, столкновительная теория, методика расчета, электронно- микроскопическое исследование поверхности.