УДК 621.315.592
КЛАССИФИКАЦИЯ СТЕПЕНИ САМООРГАНИЗАЦИИ РЕЛЬЕФА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР С ПОМОЩЬЮ МЕТОДОВ 2D DFA И СВИ
Н. В. Рыбина, к.ф.-м.н., доцент каф. МНЭЛ, РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
С. П. Вихров, д.ф.-м.н., профессор, г.н.с., Научно-исследовательский институт обработки аэрокос-
мических изображений (НИИ «Фотон»), РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. Б. Рыбин, к.ф.-м.н., вед.инж. УОНИ, РГРТУ, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Цель работы – классификация тонкопленочных структур по степени самоорганизации с помощью скейлингового показателя, средней взаимной информации и максимальной взаимной информа- ции, определяемых методами двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом и средней взаимной информации. Синтезированы модельные поверхности различной степени упорядоченности (самоорганизации), рельеф которых исследовался методами двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом и средней взаимной информации. По результатам исследования модельных поверхностей составлены таблицы значений скейлингового показателя, средней и максимальной взаимной информации, которые позволяют классифицировать тонкопленочные структуры по степени самооргани- зации. Апробация полученных результатов была проведена на тонкопленочных образцах a-Si:H. Сделана попытка оценки влияния технологических режимов роста (время осаждения, давление водорода в камере) на процессы самоорганизации в пленках a-Si:H.
Ключевые слова: тонкопленочные структуры, упорядоченность, поверхность, самоорганизация, средняя взаимная информация, максимальная взаимная информация, двухмерный флуктационный анализ с исключенным трендом, корреляционный вектор, скейлинговый показатель.