УДК 620.179.1:621.385.64
ОСНОВНОЙ ФАКТОР ОПРЕДЕЛЕНИЯ НИЖНЕЙ ГРАНИЦЫ ДИАПАЗОНА ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ МЕТОДОМ РАССЕЯНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ НА МОЛЕКУЛАХ ГАЗА
В. К. Базылев, к.т.н., доцент кафедры ЭП, РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. М. Жидков, инженер кафедры ЭП, РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассмотрено влияние электрон-электронных столкновений на вид зависимости информативного параметра от давления газа в методе измерения давления в отпаянном магнетроне, основанном на рассеянии электронов молекулами газа в скрещенных электрическом и магнитном полях при индукции магнитного поля много большей критической. Показано, что электрон-электронные столкновения ограничивают нижний предел измерения давления данным методом.
Ключевые слова: отпаянный магнетрон, электрон-электронные столкновения, рассеяние элек- тронов на молекулах газа, измерение давления остаточного газа, скрещенные электрические и магнитные поля.