УДК 539.198
УСКОРИТЕЛЬ КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ СВЕРХТОЧНОЙ ПОЛИРОВКИ ПОВЕРХНОСТИ
Д. С. Киреев, аспирант кафедры физической электроники физического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Данилов, магистр кафедры физической электроники физического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. Е. Иешкин, к.ф.-м.н., с.н.с. кафедры физической электроники физического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. С. Черныш, д.ф.-м.н., профессор, заведующий кафедрой физической электроники физического факультета МГУ имени М.В. Ломносова; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В статье подробно описаны конструкция и основные принципы работы ускорителя кластерных ионов МГУ имени М.В. Ломоносова, основным принципом формирования кластерных ионов в котором является адиабатическое расширение рабочего газа через сверхзвуковое сопло. Целью работы было исследование рабочих характеристик ускорителя и возможности его использования для сверхточной полировки поверхности твердого тела на примере германия. Показано, что на существующем ускорителе возможно получение кластерных ионов аргона со средними размерами вблизи тысячи атомов на кластер. Ток пучка ионов составляет несколько микроампер. Исследовано влияние фонового газа в вакуумной камере на транспортировку пучка к мишени. Приведены количественные данные шероховатости поверхности германия и карбида кремния после абразивной полировки и после облучения кластерными ионами Ar+n c энергией 10 кэВ.
Ключевые слова: ионные пучки, кластерные ионы, ускоритель кластерных ионов, транспортировка ионных пучков, распыление, нанорельеф, планаризация поверхности, атомно-силовая микроскопия.