УДК 621.315
ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ ПЕРЕНОСА ЗАРЯДА В ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ Me/ZnO/Si
А. Р. Семенов, аспирант кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-2780-5661, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
М. В. Голованова, магистрант кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-3595-1426, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. Г. Литвинов, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0001-6122-8525, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Д. Г. Громов, д.т.н., профессор института перспективных материалов и технологий национального исследовательского университета «МИЭТ», Зеленоград, Россия;
orcid.org/0000-0002-4563-9831, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
С. П. Олейник, к.ф.-м.н., заведующий кафедрой маркетинга и управления проектами НИУ «МИЭТ», Зеленоград, Россия;
orcid.org/0000-0001-8514-9530, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Т. А. Холомина, д.ф.-м.н., заведующий кафедрой МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-3902-618X, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Ермачихин, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-3808-9691, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассматриваются результаты исследования механизмов переноса заряда под действием электрического поля в гетероструктурах Me/ZnO/Si методами вольт-амперных и высокочастотных вольт-фарадных характеристик. Полученные результаты свидетельствуют о заметном влиянии ловушечных уровней на электрофизические параметры и энергетическую зонную диаграмму полупроводниковых гетероструктур Me/ZnO/Si. Установлено влияние режима отжига на параметры пленок ZnO, выращенных методом пиролитического разложения. Целью работы явилось исследование механизмов переноса заряда в структурах металл-диэлектрик-полупроводник на основе гетероперехода ZnO/Si и моделирование строения энергетических зонных диаграмм с использованием экспериментальных результатов.
Ключевые слова: механизмы переноса заряда; гетероструктура; зонная диаграмма; вольт-амперная характеристика; вольт-фарадная характеристика.