УДК 621.315.592
ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЛЬТ-ФАРАДНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОЧЕЧНОГО БАРЬЕРНОГО КОНТАКТА МЕТАЛЛ-ПОЛУПРОВОДНИК
В. Г. Литвинов, к.ф.-м.н., доцент, заведующий кафедрой МНЭл РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/ 0000-0001-6122-8525, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. С. Литвинова, к.т.н., доцент кафедры ТОР РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/ 0000-0003-4924-0083, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассматривается задача теоретического анализа физический модели точечного барьерного контакта металл-полупроводник и ее экспериментального подтверждения. Цель работы – исследование электрофизических свойств полупроводниковых микро- и наноструктур с помощью метода вольт-фарадных характеристик и атомно-силовой микроскопии для развития представлений о физических процессах в полупроводниковых структурах нанометровых размеров. На основе решения уравнения Пуассона в приближении трехмерного распределения электрического поля получено выражение для распределения электрического потенциала в полупроводнике в точечном барьерном контакте металл-полупроводник. Экспериментально показано, что при уменьшении размера барьерного контакта до величины, соизмеримой с длиной Дебая, изменяется характер зависимости электрической барьерной емкости от обратного напряжения на точечном барьерном контакте металл-полупроводник.
Ключевые слова: точечный барьерный контакт, полупроводник, вольт-фарадная характеристика.