УДК 539.211
КРИТЕРИИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СТРУКТУРНОЙ СЛОЖНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ
Н. В. Рыбина, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-0377-5605, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Алпатов, к.т.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0001-9694-6818, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. Б. Рыбин, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-2000-0158, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Представлен алгоритм определения структурной сложности поверхности твердотельных материалов на основе метода двумерного флуктуационного анализа с исключенным трендом и масштабного пространства. Целью работы является выработка критериев определения структурной сложности поверхности по значениям тангенса угла наклона зависимости флуктуационной функции от пространственного масштаба и количества на ней точек перегиба. С помощью разработанного алгоритма было исследовано изображение поверхности слоя Si с имплантированными ионами Ag+, подвергавшегося импульсному лазерному отжигу, и получены корреляционные параметры. Исследованная поверхность имела высокую структурную сложность.
Ключевые слова: поверхность, структурная сложность, двумерный флуктуационный анализ, масштабное пространство, корреляционные параметры, Si, шум, гармоника.