УДК 621. 387.322
ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР ДЛЯ НИЗКОГО ВАКУУМА НА ОСНОВЕ КОНТРОЛЯ РЕФРАКЦИИ СВЕТА В ДАТЧИКЕ ПМИ-2
В. А. Коротченко, д.т.н., профессор кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-4068-768X, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. Э. Скворцов, генеральный директор ООО «МЭЛЗ», МО, пос. Запрудня, Россия;
orcid.org/0000-0002-3942-6450, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. К. Базылев, к.т.н., доцент кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-3580-3407, e-mail: bazylev.v.k@rsreu>
В. В. Прадед, инженер кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0001-6779-9476, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. М. Жидков, инженер кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-0199-8402, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Разработан и исследован опытный образец фотоэлектрического манометра для низкого вакуума, основанный на контроле показателя преломления газа в вакуумметрическом датчике ПМИ-2. Цилиндрическая часть стеклянной оболочки датчика используется в качестве «газовой призмы», которая отклоняет лазерный луч. Смещение луча регистрируется дифференциальным фотоэлементом, ток которого является мерой давления. Малые габариты (100×65×20 мм) и вес позволяют устанавливать манометр на датчике без нарушения его штатного функционирования. Экспериментально показано, что сигнал фотоэлемента линейно увеличивается с ростом давления воздуха в диапазоне 10 – 1000 Торр при манометрической чувствительности 0,027 мкА / Торр. Цель работы заключается в разработке фотоэлектрического манометра для низкого вакуума, основанного на контроле преломления света в датчике ПМИ-2.
Ключевые слова: манометр, давление газа, низкий вакуум, рефракция света, показатель преломления газа, лазер, фотоэлемент, вакуумметрический датчик.