УДК 621.315.592
ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ НА ОБРАЗОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ В СЛОЯХ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
М. А. Региневич, Генеральный директор ООО «РСТ», Москва, Россия;
orcid.org/0000-0003-0412-2200, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
С. М. Карабанов, д.т.н., профессор кафедры ЭП, РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-3887-7062, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Целью работы является исследование влияния факторов технологических процессов на образование дефектов в аморфном кремнии при изготовлении гетероструктурных солнечных элементов (HJT). Исследованы дефекты слоев аморфного гидрогенизированного кремния, их возникновение и изменения в структуре слоев в процессе изготовления солнечного элемента. Исследовано изменение структуры аморфного кремния после обработки водородной плазмой и отжига после процесса напыления прозрачного проводящего оксида. Определены параметры процессов, позволяющие уменьшить уровень дефектности при производстве высокоэффективных солнечных элементов.
Ключевые слова: кремниевые кристаллические солнечные элементы, слои собственного аморфного кремния, плазмохимическое осаждение, обработка водородной плазмой.