УДК 539.211
ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ
А. Ю. Судакова, магистрант РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-5232-335X, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. В. Рыбина, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-0377-5605, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Проведены исследования РЭМ-изображений поверхности пленок нанокристаллического кремния методами двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом и средней взаимной информации. Получены значения информационно-корреляционных характеристик рельефа поверхности исследованных пленок. Целью работы является выявление зависимости значений информационно-корреляционных характеристик рельефа поверхности пленок нанокристаллического кремния, подвергавшихся лазерному отжигу, от мощности лазерного излучения.
Ключевые слова: поверхность, двухмерный флуктуационный анализ, метод средней взаимной информации, нанокристаллический кремний, отжиг, текстурирование, РЭМ-изображения.