УДК 621. 387.322
ШИРОКОДИАПАЗОННЫЙ МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ РАССЕЯНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ МОЛЕКУЛАМИ ГАЗА
В. К. Базылев, к.т.н., доцент кафедры ЭП, РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-3580-3407, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. А. Коротченко, д.т.н., профессор кафедры ЭП, РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-4068-768X, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. М. Жидков, инженер кафедры ЭП, РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-0199-8402, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Приведены результаты исследования широкодиапазонного манометрического преобразователя на основе рассеяния электронов молекулами газа в скрещенных электрическом и магнитном полях. Преобразователь выполнен в виде цилиндрического магнетрона, в котором источник электронов расположен на одном из торцевых электродов. В качестве источника электронов использовался вольфрамовый термокатод или фотокатод на основе плёнки галлия, устойчивый к действию воздуха при атмосферном давлении, который эмитировал электроны под действием ультрафиолетового излучения светодиода с длиной волны 265 нм. Мерой давления являлся ток электронов, рассеянных молекулами газа и собираемых анодом. Электроны, не испытавшие рассеяния, улавливались специальным коллектором. Приведены результаты моделирования движения электронов в преобразователе. Получены экспериментальные зависимости тока анода от давления азота, которые в основном коррелируют с расчётными, соответствуют теоретическим представлениям и подтверждают возможность измерения давления газа в широком диапазоне от 10-7 Торр до 760 Торр. Цель работы заключается в создании манометрического преобразователя для диапазона давлений 10-7 – 760 Торр, на основе рассеяния электронов молекулами газа.
Ключевые слова: манометрический преобразователь, давление газа, рассеяние электронов, скрещенные электрическое и магнитное поля, фотокатод, моделирование.