УДК 621.357.7
ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ УВЕЛИЧЕНИЯ ЭКСПЛУАТАЦИОННОГО РЕСУРСА МЭМС-КОММУТАТОРОВ
М. С. Тыщенко, старший преподаватель кафедры ПЭл РГРТУ, Рязань, Россия;
e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Г. П. Гололобов, д.т.н., доцент кафедры ПЭл РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-3611-729X, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
С. А. Круглов, д.т.н., доцент, заведующий кафедрой ПЭл РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0001-5992-7319, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Е. В. Сливкин, к.т.н., доцент кафедры ПЭл РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0001-9906-8934, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Цель работы – проанализировать технологические решения для увеличения эксплуатационного ресурса микроэлектромеханических коммутаторов, а также методы повышения их эксплуатационных характеристик. Обсуждаются возможности снижения контактного сопротивления устройства и его стабилизации путем управления уровнем шероховатости поверхности контактных площадок. Подробно представлены используемые материалы контактных покрытий и предложены варианты наиболее перспективных на основе сплавов с W. Приведены условия и режимы их получения. Рассмотрены различные конструктивные способы повышения силы контактного нажатия и магнитной чувствительности устройств. Проанализированы перспективы различных конструктивных исполнений МЭМС-коммутаторов устройств и материалов, используемых в контактных площадках.
Ключевые слова: микроэлектромеханический коммутатор, МЭМС, электрохимическое осаждение, контактное электросопротивление, гальванопокрытие, Ni-W.