УДК 541-67:661.863/888
ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА АМОРФНЫХ ПЛЕНОК ТРИСЕЛЕНИДА МЫШЬЯКА, ПОЛУЧЕННЫХ ПО ТЕХНОЛОГИИ СПИН-КОАТИНГА
С. А. Козюхин, д.х.н., главный научный сотрудник ИОНХ РАН; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Нгуен Тхи Ханг, аспирант МПГУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. А. Корлюков, д.х.н., ведущий научный сотрудник ИНЭОС РАН; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. А. Полохин, инженер НИУ МИЭТ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Волкова, к.х.н., инженер НИУ МИЭТ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
П. И. Лазаренко, к.т.н., доцент НИУ МИЭТ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Цель исследования состояла в изучении оптических свойств полупроводниковых аморфных пленок состава As2Se3, полученных методом спин-коатинга. Отличительной чертой метода является возможность получения тонких пленок в условиях, близких к равновесным, а также относительная простота и доступность по сравнению с другими технологиями получения тонких пленок на основе халькогенидных соединений. Приготовленные пленки охарактеризованы методами рентгеновской дифракции, ИК-спектроскопии, атомно-силовой микроскопии и комбинационного рассеяния света, что позволило сделать выводы об их фазовом состоянии, примесном составе и структуре. Методами оптического пропускания и спектральной эллипсометрии изучены оптические характеристики аморфных пленок и проведен сравнительный анализ с аналогичными параметрами для тонких пленок, которые известны по литературным данным. Показано, что полученные пленки имеют оптическую ширину запрещенной зоны ΔEg = 1,64 эВ и дисперсию показателя преломления в видимом диапазоне в пределах от 2,2 до 3,1.
Ключевые слова: аморфные пленки As2Se3; спин-коатинг технология, оптические свойства, оптическая ширина запрещенной зоны, оптические константы.