УДК 621.315
ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРА ПОВЕРХНОСТНЫХ СОСТОЯНИЙ НА ГРАНИЦЕ РАЗДЕЛА ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ZnO/Si
В. Г. Литвинов, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. Р. Семенов, аспирант кафедры МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Т. А. Холомина, д.ф.-м.н., заведующий кафедрой МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. В. Ермачихин, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. Б. Рыбин, к.ф.-м.н., доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Д. Г. Громов, д.т.н., профессор института перспективных материалов и технологий национального исследовательского университета «МИЭТ»; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассматриваются результаты исследования спектров поверхностных состояний на границе раздела диэлектрик-полупроводник гетероструктур с оксидом цинка на основе экспериментальных высокочастотных вольт-фарадных характеристик. Полученные результаты свидетельствуют о заметном влиянии примесей на электрофизические параметры полупроводниковых гетероструктур на основе ZnO/Si. Обнаружена корреляция между размерами гранул ZnO и значениями концентрации ловушек на границе раздела высокоомного слоя ZnO и Si подложки. Целью работы явилось теоретическое и экспериментальное исследование структур металл-диэлектрик-полупроводник на основе гетероперехода ZnO/Si. Пленки ZnO выращивались методом пиролитического разложения при различных условиях отжига. Электрические свойства структур исследовали методом высокочастотных вольт-фарадных характеристик. Структура и морфология слоев ZnO изучались методом сканирующей электронной микроскопии.
Ключевые слова: спектр поверхностных состояний; гетероструктура; ZnO; C-V-характеристика.