УДК 004.932.2
РАЗРАБОТКА МЕТОДА ТРЁХМЕРНОЙ ВИЗУАЛИЗАЦИИ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ БЛОКОВ КРЕМНИЯ
С. М. Карабанов, д.т.н., профессор, главный научный сотрудник кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. Е. Серебряков, к.т.н., доцент кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
О. А. Беляков, менеджер по СМК ООО «ХЕЛИОС-Ресурс», Саранск, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Д. В. Суворов, к.т.н., директор ЦПТМ РГРТУ, Рязань, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. С. Карабанов, генеральный директор ООО «ХЕЛИОС-Ресурс», Саранск, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Представлено описание метода цифровой обработки изображений кремниевых пластин, позволяющего восстановить трехмерную внутреннюю структуру кремниевого блока. На основе исходных изображений интенсивности фотолюминесценции кремниевых пластин осуществляется их сортировка. Порядок следования изображений полностью соответствует расположению пластин в блоке кремния до резки на пластины. Применены алгоритмы преобразования Радона для выравнивания изображений и методы корреляционного анализа. Пространственное разрешение метода равно 300 мкм, что позволяет применять его для исследования одномерных (дислокации) и двухмерных дефектов (границы зерен) кристаллической решетки. Целью работы является разработка метода трехмерной визуализации мультикристаллической структуры блоков кремния с выделением областей внутренних дефектов и диффузионного загрязнения.
Ключевые слова: цифровая обработка изображений, трехмерная модель, мультикристаллический кремний, дефекты, фотолюминесценция.