УДК 620.179.1:621.385.64
ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА
В. К. Базылев, к.т.н., доцент кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
А. М. Жидков, инженер кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. А. Коротченко, д.т.н., профессор кафедры ЭП РГРТУ, Рязань, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. Э. Скворцов, генеральный директор ООО «МЭЛЗ», Москва, Россия; Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Разработан ионизационный манометрический преобразователь для давления газа в диапазоне от среднего до сверхвысокого вакуума. Принцип действия преобразователя основан на ионизации молекул газа электронами в продольном магнитном поле с индукцией большей критической, которые колеблются между катодом и анодом после столкновений с молекулами в потенциальной яме, сформированной ускоряющими электродами. Показана возможность устранения фонового тока коллектора ионов, обусловленного мягким рентгеновским излучением, путем значительного (до 5 В) снижения напряжения между анодом и катодом. Экспериментально установлено, что при импульсном питании ускоряющих электродов зависимость ионного тока от давления азота в интервале (0,5 – 150) мкТорр линейна при высокой (до 1600 Торр–1) манометрической чувствительности.
Ключевые слова: сверхвысокий вакуум, ионизационный манометрический преобразователь, продольное магнитное поле, потенциальная яма для электронов, мягкое рентгеновское излучение, манометрическая чувствительность.