УДК 004.932.2
СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ ВЫЧИСЛЕНИЯ ВЗАИМНОЙ КОРРЕЛЯЦИИ ПРИ ОБРАБОТКЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ МУЛЬТИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ
А. Е. Серебряков, к.т.н., доцент кафедры «Электронные приборы» РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0002-8593-7374, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
О. А. Беляков, менеджер по СМК ООО «ХЕЛИОС-Ресурс», Саранск, Россия;
orcid.org/0000-0003-4138-9684, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Рассматривается метод вычисления коэффициента взаимной корреляции изображений интенсивности фотолюминесценции пластин кремния в рамках метода трехмерной визуализации внутренней кристаллической структуры кремниевых блоков. Целью работы является нахождение оптимальных геометрических параметров области сравнения двух изображений интенсивности фотолюминесценции пластин для вычисления коэффициента их взаимной корреляции и угла поворота, предназначенных для приведения изображений к одному и тому же взаимному расположению. Исходные изображения, получаемые на производственной линии по контролю параметров пластин, как правило повернуты друг относительно друга на угол кратный 90°. В предлагаемой работе излагаются результаты сравнительного анализа группы кольцеобразных областей сравнения с разными радиусами и толщиной, позволяющие исключить ошибки при обработке изображений в методе визуализации кристаллической структуры блока кремния. Коэффициенты корреляции вычисляются с использованием программной среды MATLAB.
Ключевые слова: цифровая обработка изображений, коэффициент корреляции, область сравнения, угол поворота, изображение фотолюминесценции, мультикристаллические пластины кремния.