УДК 538.958:535.8
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ИНФОРМАЦИОННО-КОРРЕЛЯЦИОННЫЕ СВОЙСТВА ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНКИ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
Н. В. Рыбина, к.ф.-м.н., доцент, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-0377-5605, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. Б. Рыбин, к.ф.-м.н., доцент, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-2000-0158, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В. В. Трегулов, к.т.н., доцент кафедры ОиТФиМПФ РГУ имени С.А. Есенина, Рязань, Россия;
orcid.org/0009-0001-1441-6918, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Г. Н. Скопцова, старший преподаватель, научный сотрудник кафедры ОиТФиМПФ РГУ имени С.А. Есенина, Рязань, Россия;
orcid.org/0009-0009-6224-7555, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Представлены результаты исследования влияния термического отжига и диффузии на информационно-корреляционные свойства поверхностей пленок пористого кремния, сформированного методом металл-стимулированного травления на монокристаллической кремниевой подложке. Исследования поверхности пленки пористого кремния производились методами растровой электронной микроскопии, двумерного флуктуационного анализа с исключенным трендом и средней взаимной информации. По результатам исследований показано, что режимы термических обработок оказывают влияние на особенности морфологии пленок пористого кремния на микронном и субмикронном масштабах.
Ключевые слова: пористый кремний, металл-стимулированное травление, термический отжиг, диффузия, растровая электронная микроскопия.