УДК 538.958:535.8
ОСОБЕННОСТИ ЗОННОЙ ДИАГРАММЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ СТРУКТУРЫ СО СФОРМИРОВАННОЙ МЕТАЛЛ-СТИМУЛИРОВАННЫМ ТРАВЛЕНИЕМ ПЛЕНКОЙ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
В. В. Трегулов, к.т.н., доцент кафедры ОиТФиМПФ РГУ имени С.А. Есенина, Рязань, Россия;
orcid.org/0009-0001-1441-6918, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Г. Н. Скопцова, старший преподаватель, научный сотрудник кафедры ОиТФиМПФ РГУ имени С.А.
Есенина, Рязань, Россия;
orcid.org/0009-0009-6224-7555, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. Б. Рыбин, к.ф.-м.н., доцент, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-2000-0158, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Н. В. Рыбина, к.ф.-м.н., доцент, доцент кафедры МНЭЛ РГРТУ, Рязань, Россия;
orcid.org/0000-0003-0377-5605, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Представлены результаты исследования частотной зависимости вольт-фарадных характеристик полупроводниковой структуры с пленкой пористого кремния, выращенной методом металл-стимулированного травления. Разработана модель зонной диаграммы. Исследовано влияние режимов термического отжига на характер проявления режима инверсии проводимости.
Ключевые слова: пористый кремний, металл–стимулированное травление, термический отжиг, вольт-фарадные характеристики, ловушки с глубокими энергетическими уровнями, зонная диаграмма.