УДК 621.382
МЕТОД ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДГОНКИ ИМС НА ОСНОВЕ ПЕРЕЖИГАЕМЫХ ПОЛИКРЕМНИЕВЫХ ПЕРЕМЫЧЕК
М. К. Бурухин, инженер-конструктор АО «ОКБ Микроэлектроники», Калуга, Россия;
orcid.org/0009-0002-9707-5406, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
С. В. Рыжов, инженер-конструктор 3 категории АО «ОКБ Микроэлектроники», Калуга, Россия;
orcid.org/0000-0001-5330-2537, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
Д. В. Андреев, к.т.н., доцент Калужского филиала МГТУ имени Н.Э. Баумана, Калуга, Россия;
orcid.org/0000-0001-9080-1028, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
М. В. Романов, начальник отдела АО «ОКБ Микроэлектроники», Калуга, Россия;
orcid.org/0000-0003-1898-5939, e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
В данной статье представлен подробный обзор метода подгонки интегральных микросхем (ИМС) с использованием поликремниевых пережигаемых перемычек. Целью работы является разработка и применение модифицированного метода подгонки с использованием пережигаемых перемычек в схеме усилителя опорного напряжения. Исследовано применение подгонки для достижения необходимого значения опорного напряжения в схеме с операционным усилителем, и представлены соответствующие расчёты. В рамках исследования были произведены экспериментальные испытания с тестовыми модулями, на которых был отработан режим пережигания перемычек и измерено их сопротивление. Результаты исследования подтвердили эффективность применения поликремниевых пережигаемых перемычек в процессе подгонки. Для облегчения выполнения вычислений и анализа было разработано специальное приложение-калькулятор. Кроме того, приведены результаты моделирования процесса подгонки при различных исходных значениях параметров с использованием метода Монте-Карло. Полученные результаты подтверждают эффективность предложенного метода и его применимость в практических условиях.
Ключевые слова: технологический разброс параметров, подгонка ИМС, поликремниевые перемычки, Symica DE.